日本理音RION KL-28B/KL-28BF液体粒子计数器
详情介绍
RION/日本理音液体粒子计数器,可检测从纯水到气氟酸各种各样的液体,液体计数器的使田是为了控制化学品中的对子,如半导体制程中的专田材料比如SOG和光阳材料,纯水和清洗用化学剂比如碱,有机溶剂和气氧酸。另外,也可检测化学机械抛光中大粒径的研磨液,测试方法包括在线和离线测试。
特点优势
测量范围 2通道: z0.2um;z0.5um*多粒子数量 1200颗/ml (误差值低于5%)
技术参数:
光源 镭射二极管(波长:780nm,额定输出:40mW)
部分材料 KL-28B:人造石英,PFA、PTEF
KS-16F:蓝宝石,PFA、PTEF (可测氢氟酸)
流量 测试流量10ml/分钟
测量范围 2通道 ≥0.2µm, ≥0.5µm
*多粒子数量 1200颗/ml(误差值低于5%)
电源 由KE-28B供应,100V AC,23VA
尺寸.重量 70(H)×85(W)×118 (D) mm,大约:0.6kg
控制器 KE-28B(于KL-28B/KL-28BF)
液体粒子计数器,与氢氟酸兼容
测量化学溶液中0.2μm的颗粒
紧凑、轻便、高性能,适合手掌大小
直接连接供应线,快速捕捉过程异常
结合监控软件,可以在测量现场显示控制和结果。
蓝宝石用于电池
规格
光学系统法 | 侧向散射法 |
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光源 | 半导体激光器(波长780nm,额定输出40mW) |
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接液部件材料 | 蓝宝石、PFA、PTFE |
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粒度分级 | 2级:0.2μm以上、0.5μm以上 |
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额定流量 | 10毫升/分钟 |
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*颗粒数浓度 | 1,200个/mL(计数损失5%以内) |
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电源 | AC100V,约23VA(由KE-28B供电) |
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尺寸 | 约 70(高)x 85(宽)x 118(深)毫米(不包括突出部分) |
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重量 | 约0.6公斤 |
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