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产品信息

产品名称:日本理音RION KL-28B/KL-28BF液体粒子计数器
产品型号: KL-28B/KL-28BF
生产厂商:日本理音RION
产品数量:11
产品单价:电议


RION/日本理音液体粒子计数器,可检测从纯水到气氟酸各种各样的液体,液体计数器的使田是为了控制化学品中的对子,如半导体制程中的专田材料比如SOG和光阳材料,纯水和清洗用化学剂比如碱,有机溶剂和气氧酸。


   

   


日本理音RION KL-28B/KL-28BF液体粒子计数器

详情介绍

RION/日本理音液体粒子计数器,可检测从纯水到气氟酸各种各样的液体,液体计数器的使田是为了控制化学品中的对子,如半导体制程中的专田材料比如SOG和光阳材料,纯水和清洗用化学剂比如碱,有机溶剂和气氧酸。另外,也可检测化学机械抛光中大粒径的研磨液,测试方法包括在线和离线测试

特点优势

测量范围 2通道: z0.2um;z0.5um*多粒数量 1200颗/ml (误差值低于5%)

技术参数:

光源 镭射二极管(波长:780nm,额定输出:40mW)

部分材料 KL-28B:人造石英,PFA、PTEF

KS-16F:蓝宝石,PFA、PTEF (可测氢氟酸)

流量 测试流量10ml/分钟

测量范围 2通道 ≥0.2µm, ≥0.5µm

*多粒子数量 1200颗/ml(误差值低于5%)

电源 KE-28B供应,100V AC,23VA

尺寸.重量 70(H)×85(W)×118 (D) mm,大约:0.6kg

控制器 KE-28B(于KL-28B/KL-28BF)

 

液体粒子计数器,与氢氟酸兼容

测量化学溶液中0.2μm的颗粒

  • 紧凑、轻便、高性能,适合手掌大小

  • 直接连接供应线,快速捕捉过程异常

  • 结合监控软件,可以在测量现场显示控制和结果。

  • 蓝宝石用于电池

规格

光学系统法侧向散射法
光源半导体激光器(波长780nm,额定输出40mW)
接液部件材料蓝宝石、PFA、PTFE
粒度分级2级:0.2μm以上、0.5μm以上
额定流量10毫升/分钟
*颗粒数浓度1,200个/mL(计数损失5%以内)
电源AC100V,约23VA(由KE-28B供电)
尺寸约 70(高)x 85(宽)x 118(深)毫米(不包括突出部分)
重量约0.6公斤



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