日本理音RION KL-30B液体粒子计数器监测纯水中的颗粒污染-深圳市深博瑞仪器仪表有限公司

产品名称：日本理音RION KL-30B液体粒子计数器监测纯水中的颗粒污染

产品型号：KL-30B

生产厂商：日本理音RION

产品数量：6

产品单价：电议

产品介绍

可检测从纯水到复氟酸各种各样的液体，液体计数器的使用是为了控制化学品中的粒子，如半导体制程中的专田材料比如SOG和光阻材料，纯水和清洗用化学剂比如碱，有机溶剂和氢氧酸。另外，也可检测化学机械抛光中大粒径的研磨液，测过方法包括在线和离线测试。

详细资料

液体粒子计数器，用于纯水，内置打印机

0.05μm，监测纯水中的颗粒污染

光学系统法	侧向散射法
光源	半导体激光器（波长830nm，额定输出200mW）
接液部件材料	合成石英、氟橡胶、氟树脂、PVC、耐热玻璃、SUS304/316、POM
测量范围	0.05μm～0.2μm范围内2～10级出厂时：4级：0.05μm以上、0.1μm以上、0.15μm以上、0.2μm以上
样品流速	额定流量 10mL/min 和吹扫流量 0.1 至 1L/min 的和（但是，吹扫流量根据样品压力而变化）
*颗粒数浓度	200,000个/mL（计数损失10%以内）
电源	AC100V至240V，50/60Hz，约80VA
尺寸	约 230（高）x 330（宽）x 569（深）毫米（不包括突出部分）
重量	约19.8公斤

日本理音RION KL-30B液体粒子计数器

光源激光二极管泵/固态晶振镭射(波长:830nm,额定输出:200mW)

与样品接触部分材料人造石英,碳氟橡胶、氟塑胶、PMC

外部材质 SUS304/316、有机玻璃、POM

流量 10ml/分钟，清洗流量0.1-1l/分钟(清洗流速随着样品来源之压力不同而改变)

粒径范围(4通道) ≥0.05µm,≥0.1µm,≥0.15µm,≥0.2µm标配

可选通道 2-10个通道,由控制器设定,设定范围:0.05~0.2µm

粒子数量 200000颗/ml，误差值低于10%

电源 100V-240V AC,50/60Hz 130VA

尺寸.重量 230×330×570mm（突出部分除外）大约19.8kg

特点优势

粒径范围(4通道,标配);≥0.05um;≥0.1um;≥0.15um; ≥0.2um

可选通道 2-10人通道,由控制器设定,设定范围:0.05~0.2um

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