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产品信息
产品名称：日本理音RION KL-30AX液体粒子计数器0.04-0.15um
产品型号：KL-30AX
生产厂商：日本理音RION
产品数量：6
产品单价：电议
产品介绍

RION/日本理音液体过子计数器，可检测从纯水到气氧酸各和各样的液体，液体计数器的使用是为了控制化学品中的粒子，如半导体制程中的材料比如SOG和光阻材料，纯水和清洗用化学剂比如，有机溶剂和氢氧酸，另外，也可检测化学机械抛光中大粒径的研磨液，测试方法包括在线和离线测试。

   

详细资料

 

液体粒子计数器，用于纯水，内置打印机

监测纯水中0.04μm颗粒

  • 集传感器、控制器、流量计于一体的一体型

  • 兼容高压500kPa（表压）

  • 标准配备D/A转换器（4-20mA）和报警输出接点

  • 内置打印机，也可使用CF卡（可选）

规格

光学系统法侧向散射法
光源半导体激光泵浦固体激光器（波长532nm，额定输出500mW）
接液部件材料合成石英、氟橡胶、氟树脂、PVC、耐热玻璃、SUS304/316、POM
粒度分级0.04μm～0.15μm范围内2～10级
出厂时：4级：0.04μm以上、0.08μm以上、0.1μm以上、0.15μm以上
样品流速额定流量 20mL/min 和吹扫流量 0.1 至 1L/min 的和（但是，吹扫流量根据样品压力而变化）
*颗粒数浓度15,000个/mL（计数损失10%以内）
电源AC100V至240V，50/60Hz，约130VA
尺寸约 230（高）x 385（宽）x 570（深）毫米（不包括突出部分）
重量约24.8公斤


RION/日本理音液体过子计数器，可检测从纯水到气氧酸各和各样的液体，液体计数器的使用是为了控制化学品中的粒子，如半导体制程中的材料比如SOG和光阻材料，纯水和清洗用化学剂比如，有机溶剂和氢氧酸，另外，也可检测化学机械抛光中大粒径的研磨液，测试方法包括在线和离线测试。

 

特点优势

粒径范围(4通道，标配); ≥0.04um; ≥0.08um; ≥0.1um; ≥0.15um

可选通道 2-10个通道,由控制器设定,

设定范围:0.04~0.15um粒子数量 15000颗/ml，误差值低于10%

日本理音RION KL-30AX液体粒子计数器



技术参数：


光源 激光二极管泵/固态晶振镭射(波长:532nm,额定输出:500mW)

与样品接触部分材料 人造石英,碳氟橡胶、氟塑胶、PMC

外部材质 SUS304/316、有机玻璃、POM

流量 20ml/分钟，清洗流量0.1-1l/分钟

粒径范围(4通道) ≥0.04µm,≥0.08µm,≥0.1µm,≥0.15µm标配

可选通道 2-10个通道,由控制器设定,设定范围:0.04~0.15µm

粒子数量 15000颗/ml，误差值低于10%

电源 100V-240V AC,50/60Hz 130VA

尺寸.重量 203×385×570mm（突出部分除外）大约24.8kg




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