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产品信息
产品名称：日本理音RION KS-41B液体粒子计数器0.1μm至0.5μm
产品型号：KS-41B
生产厂商：日本理音RION
产品数量：6666
产品单价：电议
产品介绍

液体颗粒传感器，用于抗蚀剂

能够测量光刻胶溶液和SOG中0.1μm以下的颗粒

可连接多点监控系统



   

详细资料

粒径通道范围：10个通道

数字显示：计数(*多显示8位)

测试时间：10秒~2小时,手动

电源：AC 100~240V,50/60Hz

尺寸.重量：约:140×240×146mm,大约3kg

KS-41B


液体颗粒传感器，用于抗蚀剂

能够测量光刻胶溶液和SOG中0.1μm以下的颗粒

  • 可连接多点监控系统


规格

光学系统法侧向散射法
光源半导体激光泵浦固体激光器（波长532nm，额定输出500mW）
接液部件材料合成石英，PFA
粒度分级0.1μm至0.5μm范围内10个等级（可选从0.07μm开始，适用于纯水等透明液体）
工厂：0.1μm以上、0.15μm以上、0.2μm以上、0.3μm以上、0.5μm或更多 5 个阶段
额定流量5毫升/分钟
*颗粒数浓度9,600个/mL（计算损失10%以内）
电源DC12V（由KE-40B1供电）
尺寸约 164（高）x 464（宽）x 305（深）毫米（不包括突出部分）
重量约12.5公斤



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