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产品信息
产品名称：0.15μm颗粒计数日本理音RION KS-41A液体粒子计数器
产品型号：KS-41A
生产厂商：日本理音RION
产品数量：6666
产品单价：电议
产品介绍


液体颗粒传感器，用于抗蚀剂

能够测量光刻胶溶液和SOG中0.15μm以下的颗粒

可连接多点监控系统

≧0.15µm,≧0.2µm,≧0.3µm,≧0.5µm


   

详细资料

KS-41A


液体颗粒传感器，用于抗蚀剂

能够测量光刻胶溶液和SOG中0.15μm以下的颗粒

  • 可连接多点监控系统


规格

光学系统法侧向散射法
光源半导体激光器（波长830nm，额定输出200mW）
接液部件材料合成石英，PFA
粒度分级0.15μm 至 0.5μm 范围内有 10 级
出厂时：4 级：0.15μm、0.2μm、0.3μm、0.5μm 或以上
额定流量10毫升/分钟
*颗粒数浓度1,200个/mL（计数损失5%以内）
电源DC12V（由KE-40B1供电）
尺寸约 160（高）x 300（宽）x 251（深）毫米（不包括突出部分）
重量约7.5公斤

KS-41A 00.jpgKS-41A 01.jpg




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